産(chǎn)品特點
産(chǎn)品特點： 1、NS-503RT可(kě)以實現X、Y方向105mm/158mm的移動範圍。 2、全新(xīn)設計的長(cháng)工(gōng)作(zuò)距專業金相物(wù)鏡，高倍物(wù)鏡采用(yòng)半複消技(jì )術。 3、各種觀察方法下都能(néng)得到清晰銳利與高對比度的顯微圖像。 4、附件齊全,配置完善,可(kě)靈活進行系統組合與功能(néng)拓展。 5、人機工(gōng)程學(xué)設計、堅實可(kě)靠的系統結構。 |  |
技(jì )術參數
| 可(kě)選擇的觀察方法 | 明場/斜照明/偏振光/DIC | 明場/斜照明/偏振光/DIC/透射光 |
| 光學(xué)系統 | 無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統 | |
| 目鏡 | PL10X/22平場高眼點目鏡 | |
| 物(wù)鏡 | LMPL無限遠(yuǎn)長(cháng)工(gōng)作(zuò)距金相物(wù)鏡 | |
| 觀察筒 | 30°鉸鏈式三目，分(fēn)光比，雙目：三目=100: 0或50:50 | |
| 轉換器 | 5孔内傾式轉換器，帶DIC插槽 | |
| 載物(wù)台 | 4"雙層機械移動平台，行程105x 105mm；帶金屬平闆平台，右手位X、Y移動手輪，配平台接口 | 4"雙層機械移動平台，行程105x 105mm；帶玻璃平台，右手位X、Y移動手輪，配平台接口 |
| 顯微鏡鏡體(tǐ) | 粗微調同軸、粗調行程33mm，微調精(jīng)度0.001mm，帶粗調機構上限位及松緊調節裝(zhuāng)置。内置90-240V寬電(diàn)壓變壓器，單路電(diàn)源輸出 | 粗微調同軸、粗調行程33mm，微調精(jīng)度0.001mm，帶粗調機構上限位及松緊調節裝(zhuāng)置。内置90-240V寬電(diàn)壓變壓器，雙路電(diàn)源輸出 |
| 反射照明器系統 | 帶可(kě)變視場光闌與孔徑光闌，均可(kě)調中(zhōng)心；帶濾色片插槽與偏光裝(zhuāng)置插槽；帶斜照明切換拉杆。單顆大功率5W LED，白色，光強連續可(kě)調 | |
| 透射照明系統 | / | 單顆大功率5W LED，白色，光強連續可(kě)調。N..A.0.5聚光鏡，帶可(kě)變孔徑光闌 |
系統介紹
大行程移動平台設計 ◆NS-503RT機型采用(yòng)4'/6'平台設計， 可(kě)适用(yòng)于相應尺寸的晶圓或FPD檢測， 也可(kě)用(yòng)于小(xiǎo)尺寸樣品的陣列檢測。 ◆NS-503RT: 4英寸平台，移動範圍: 105mmX 105mmNS-503RT:6英寸平台，反射照明移動範圍: 158mmX158mm，透射照明移動範圍100mmX100mm; 帶離合器手柄，可(kě)用(yòng)于全行程範圍内快速移動。 ◆通過使用(yòng)平台适配接口，所有(yǒu)平台可(kě)在NS-503RT機型 之間通用(yòng)。 | 超長(cháng)工(gōng)作(zuò)距金相物(wù)鏡 ◆全新(xīn)設計的超長(cháng)工(gōng)作(zuò)距物(wù)鏡，采用(yòng)半複消色差技(jì )術， 并使用(yòng)多(duō)層寬帶鍍膜技(jì )術，使整個視場内的成像清晰銳利， 色彩自然，明亮舒适。 ◆超長(cháng)的工(gōng)作(zuò)距離設計，50X的有(yǒu)效工(gōng)作(zuò)距離達到7.8mm, 100X物(wù)鏡也達到了2.1mm, 大幅拓展了NS-503RT機型的應用(yòng)領域， 5X、10X、20X物(wù)鏡的設計，通過精(jīng)選材料及優化設計， 使DIC微分(fēn)幹涉觀察的性能(néng)非常出色。 ◆同步設計了全套明暗場兩用(yòng)物(wù)鏡，适用(yòng)于NS-503RT機型， 暗場照明亮度比傳統暗場物(wù)鏡提高2倍以上。 |
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高性能(néng)物(wù)鏡轉換器 ◆NS-503RT機型的轉換器采用(yòng)精(jīng)密軸承設計，轉動手感 輕巧舒适，重複定位精(jīng)度高，物(wù)鏡轉換後的同心度也得 到較好的控制，根據NS-503RT機型配置及功能(néng)的不同， 可(kě)以選擇不同型号的轉換器。 ◆PI103C5型: 5孔明場轉換器，用(yòng)于NS-503RT機型 ◆PI103C5I型: 5孔明場轉換器，帶DIC棱鏡插槽， 用(yòng)于NS-503RT機型。 ◆PI103C5BD型: 5孔明暗場轉換器，用(yòng)于NS-503RT機型 ◆PI103C5BD|型: 5孔明暗場轉換器，帶DIC棱鏡插槽， 用(yòng)于NS-503RT機型。 | 寬視場鉸鏈式三目觀察筒 ◆MXETH25R型正像鉸鏈三目觀察筒， 所成像的方位與物(wù)體(tǐ)實際方位一緻， 物(wù)體(tǐ)移動的方向跟像面移動的方向相同， 便于觀察與操作(zuò)，适用(yòng)于6英寸移動平台配合使用(yòng)。 ◆MX4RTH30R型鉸鏈三目觀察筒， 适用(yòng)于4英寸平台配合使用(yòng)。 ◆兩種類型的觀察筒可(kě)以在NS-503RT機型内通用(yòng)。 |
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安(ān)全、穩重的機架結構設計 ◆工(gōng)業檢測級顯微鏡體(tǐ)，低重心、高剛性、高穩.定性金屬 機架，極大的提高的系統的抗振能(néng)力與成像的穩定性。 ◆前置低手位粗微同軸調焦機構，内置90-240V寬電(diàn)壓變壓器，可(kě)以适應不同地區(qū)的電(diàn)網電(diàn)壓。底座内部設計有(yǒu)風循環散熱系統，長(cháng)時間使用(yòng)也不會使機架過熱。 | 不同的照明器可(kě)供選擇 ◆明場反射照明器:單顆大功率5W白色LED照明， 帶斜照明機構，适用(yòng)于NS-503RT機型。 ◆明場反射照明器: 12V100W鹵素燈照明，帶斜照明機構、 适用(yòng)于NS-503RT機型。 明暗場反射照明器: 12V100W鹵素燈照明， 并帶有(yǒu)光強預設功能(néng)，可(kě)快速切換到預設亮度。 帶明暗場切換機構、适用(yòng)于NS-503RT機型。 ◆透射照明: NS-503RT均可(kě)使用(yòng)透反兩用(yòng)機型。 透射光源為(wèi)單顆大功率 5W白色LED,并帶有(yǒu)N.A.0.5聚光鏡。 透射照明與反射照明可(kě)獨立控制， 即透反照明可(kě)同時開啓，亦可(kě)單獨開啓。 |
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明場觀察(反射) 遠(yuǎn)心柯拉反射照明系統，配以全新(xīn)設計的無限遠(yuǎn)平場消色差 長(cháng)工(gōng)作(zuò)距金相物(wù)鏡，從低倍到高倍，都能(néng)得到清晰、平坦、 明亮的高畫質(zhì)顯微圖像。 | 明場觀察(透射) 5W大功率LED，配以N.A.0.5聚光鏡，可(kě)以透照明下， 觀察LCD彩色液晶顯示屏，器件框架邊緣等。 透射照明與反射照明為(wèi)獨立控制，即可(kě)同時亮，也可(kě)單獨亮。 |
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斜照明 使用(yòng)斜照明，可(kě)以使物(wù)體(tǐ)表面不同材質(zhì)部分(fēn)呈現立體(tǐ)圖案， 增加觀察的對比度與視覺效果。斜照明功能(néng)隻限于NS-503RT機型。 | 暗場觀察 将暗場照明拉杆拉到指定位置，即可(kě)使用(yòng)暗場功能(néng)， 可(kě)以觀察物(wù)體(tǐ)表面的各種劃痕、雜質(zhì)點及其他(tā)細微缺陷， 暗場功能(néng)隻限于NS-503RT機型。 |
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簡易偏光觀察 将起偏鏡及檢偏鏡插闆插入照明器的指定位置，即可(kě)進行 簡易偏光觀察。檢偏鏡可(kě)分(fēn)為(wèi)固定式和360°旋轉式兩種 | DIC微分(fēn)幹涉觀察 在正交偏光的基礎上，插入DIC棱鏡， 即可(kě)進行DIC微分(fēn)幹涉相襯觀察。 使用(yòng)DIC技(jì )術，可(kě)以使物(wù)鏡表面微小(xiǎo)的高低差産(chǎn)生明顯的浮雕效果，極大的提高圖像的對比度。 5X、10X、 20X專為(wèi)DIC設計，使得整個視場的幹涉色一緻， 微分(fēn)幹涉效果非常出色，高倍物(wù)鏡DIC效果也較好。 |
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應用(yòng)案例
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